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NyeTorr 5350使NyeTorr®5300产品的EP装载量增加了一倍。
NyeTorr 5350来自马萨诸塞州费尔黑文的Nye Lubricants,Inc.生产的独特润滑剂系列。它们是为满足半导体生产环境的严格要求而设计的。这些产品的开发考虑了几个关键参数:低除气,高温稳定性,耐化学腐蚀性,磨损保护和清洁度。NyeTorr®配方中使用的原材料在分子水平上受到严格控制,以限制蒸气压,除气和污染。Nye测试并认证每批的蒸气压,以确保标签上的蒸气压与润滑剂的实际蒸气压匹配。另外,所有NyeTorr®润滑剂均经过专有的“超滤过程”,该过程可去除微观颗粒并均化附聚的增稠剂。NyeTorr®是Nye Lubricants,Inc.的注册商标。
Nye测试并证明每批NyeTorr 5350的真空稳定性(E-595)。其他真空润滑剂仅列出“典型特性”,并不保证标签上的蒸汽压力与润滑剂的实际蒸汽压力匹配。而且通常不是。
此外,NyeTorr 5350经历了专有的“超滤过程”,该过程可去除微观颗粒并使均化的增稠剂均质。它包装在100级(ISO 5级)微型环境中的超净容器中。